「カーボゼン」ハイブリッドPVDシステム

特徴 □リニアイオンソース・ＵＢＭスパッター・ＦＣＶＡソースの適切な組合せを通じユーザーニーズに応える複合コーティング膜を成膜 □装置とオペレーターの為の安全ロック機能 □ＭＳ Ｗｉｎｄｏｗｓ ＯＳベースのソフトウェア・プログラムで簡単に半自動または全自動で工程制御可能 □コーティング工程中の作業内容自動記録機能 □コーティングの全過程をデータ化 □優れた密着性 □低装置価格・低ランニングコスト